成功案例 |首台15天交付!格创东智Stocker助力头部12吋晶圆厂自动化物料存储
国内头部半导体存储器制造商,专业从事集成电路内存芯片的设计、研发、生产和销售,目前12英寸晶圆厂已建成投产。其在国内外拥有多个研发中心和分支机构,已推出多款不同类型的内存芯片,满足多种应用需求。
众所周知,从早期的6英寸晶圆厂,到如今的8英寸、12英寸厂成为主流,半导体制造工艺越来越先进,产线中的工序成倍增长,关键机台的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加,传统人力在产线设备间的物料搬运,成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。也因此,AMHS从8英寸厂开始显露头角,在12英寸厂中成为标配。
AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC软件系统等组成。其中Stocker作为AMHS的重要构成,用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆载具的存储,可与上位系统进行通讯,实现帐料自动管理。为客户生产现场减少物料搬运拥堵情况,降低传送周期,管理复杂的批次操作,实现物料高效搬运。同时确保机台排产充足,为工厂实现Fully Auto提供重要支持。
Stocker专为洁净车间设计,与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动物料搬运存储系统AMHS,根据生产计划和需求来优化物料流动。
2、降低人力&提高效率
作为无尘车间内的临时存储库,Stocker可平衡设备及工艺间产能的差异,最大程度缩短晶圆在工艺设备间的流转时间,提高设备利用率;Stocker控制系统可自动向MCS系统更新对应物料的位置信息,实现物料的统一管理,提高工作效率的同时减少人员工作强度。
3、提高产品质量
Stocker内部可达到较高的洁净度,能够满足物料存储对洁净度的要求,同时库存和物料流动的实时追踪有助于快速定位和解决潜在问题,进而提升产品质量、实现制造过程的可追溯性。
4、提高空间利用率
Stocker能够充分利用洁净车间的闲置面积及垂直空间,在相同占地面积中提高仓储容量,从而提高空间利用率。