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格创东智NTB:破解半导体AMHS"最后一米"效率瓶颈的智能缓存枢纽

在《格创东智Stocker:覆盖半导体全流程存储,推动良率&效率双提速》一文中,我们提到,为覆盖半导体全流程存储需求,格创东智构建了“核心存储+配套缓存”的完整Stocker产品矩阵,包括晶圆盒存储设备(Normal Stocker)、塔式跨楼层存储设备(Tower Stocker)、光罩盒存储设备(Reticle Stocker)、氮气填充存储设备(N2 Purge Stocker)等核心产品,以及空中缓存设备(OHB)、近机台缓存设备(NTB)等配套设备。


作为矩阵中聚焦“近机台最后一米”的关键角色,格创东智NTB是专为半导体生产机台(光刻、刻蚀、沉积等)定制的自动化缓存设备,其部署于机台旁,充分利用垂直空间增加有效缓冲,实现“OHT天车-生产机台”的物料高效中转,解决传统物流中机台等料、OHT拥堵、人工干预污染等痛点,彻底打通半导体物料自动化流转的“最后一米”。






AMHS“最后一米”的缓存枢纽,三大特性打造不可或缺性


在半导体AMHS系统中,OHT天车承担“跨区域长距离搬运”,Stocker承担“全产线集中存储”,而格创东智NTB则凭借“近距离、高频次、快切换”三大特性,成为连接两者与机台的“关键纽带”。




1、近距离:极致压缩转运距离,消除延迟

空间灵活部署:采用模块化拼接设计,占地面积仅1-2㎡,可嵌入刻蚀机集群间隙、测试机旁狭窄通道等场景,无需占用车间核心物流通道;

秒级物料交接:与机台Load Port距离仅1-3米,单次Load/Unload时间最快10秒,远快于OHT的平均响应时间,彻底消除“最后一米”的物流延迟。


2、高频次:匹配机台生产节奏,高效响应

连续换料能力:机械臂采用轻量化设计,配合伺服电机精准控制,最快单次Load/Unload时间≤10秒,1分钟内可完成至少3次连续Load/Unload任务,完美适配测试机、分拣机的高频换料需求;

本地自主决策:内置格创东智自研的控制系统,可直接接收机台EAP指令,无需依赖MCS系统调度,避免网络拥堵导致的响应延迟。


3、快切换:E84一键切换,适配多场景柔性生产

E84协议是机台(EQ)与外部设备(如OHT/NTB)实现数据交互的核心通讯标准,传统模式下E84切换存在人工重新配置、切换周期长、易出错的痛点。格创东智NTB创新开发E84 一键快速切换功能,无需更换硬件接线,通过NTB本地触摸屏或远程MCS系统,点击“切换至OHT”/“切换至NTB”即可触发,10分钟内完成模式切换,为产线柔性生产提供关键支撑。




破解机台“等料”痛点,实现设备稼动率&AMHS效率双提升


格创东智NTB并非简单的“临时货架”,而是通过“提前备货、自动交接、缓冲调度”,为半导体产线带来设备稼动率提升、AMHS效率优化等价值。


提升设备稼动率:从“机等料”到“料等机”

传统生产模式中,机台因等待OHT送料、Load Port满料停机等原因,稼动率通常仅75%-80%。格创东智NTB通过两大机制实现效率突破:

预缓存待加工物料:MCS系统根据机台生产节拍下发搬运任务给 OHTC,OHTC调度天车将待加工料盒送至NTB,机台完成当前工单后可立即接料,提高响应时效性,避免“机等料”;

暂存已加工物料:机台完成加工的晶圆载具可临时存放在NTB,待OHT空闲时集中转运至Stocker,避免机台因Load Port满料引起停机等风险。


优化AMHS效率:平衡负载、提高吞吐量

若所有物料均通过OHT直接对接机台,会导致OHT调度频繁、轨道拥堵(尤其多机台同时叫料时)。格创东智NTB通过“缓冲调节”平衡AMHS负载:

减少OHT无效往返:OHT可一次性将多台机台的待加工料盒送至对应NTB,再集中转运已加工料盒至Stocker,单次任务覆盖范围扩大,OHT空跑率大幅降低;

缓解轨道拥堵:避免OHT在机台区域频繁启停、排队等待,提升整体AMHS吞吐量。




作为国内少数具备“AMHS整体解决方案+核心设备自研”能力的企业,格创东智NTB的价值,不仅在于解决“机等料”的单个痛点,更在于通过“小设备”串联起AMHS全链路协同——从OHT天车的高效调度,到Stocker的集中存储,再到机台的连续生产,格创东智NTB成为打通自动化物流闭环的关键一环。


截止目前,格创东智NTB已累计出货20+台,其中95%应用于国内头部12吋先进制程晶圆厂。未来,格创东智将持续以“技术自主可控、场景深度适配、服务高效响应”为核心,夯实并完善“AI+CIM+AMHS”整体解决方案,助力半导体工厂智能化升级。



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