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如何强化整体设备效率?运用新一代FDC势在必行

2023-01-09

FDC系统作为高频工艺参数预警的关键支撑,8寸、12寸晶圆厂和先进封测厂等半导体制造领域,几乎是每厂必备的刚性需求。它帮助设备工程师和相关业务部门,通过对机台的运行数据和工艺参数进行实时侦测和计算,从而实现2大效果:一是及时发现生产工艺参数问题导致的产品缺陷,提升产品良率;二是进行智能设备维护,准确判断PM(故障维护)时间点,并验证PM结果,保证生产效率的达成。

 

但是,随着芯片上晶体管的数量持续翻倍,半导体制造的设备管控、品质管控难度也在呈指数级增长。与此同时,产品制程、半导体设备也在不断迭代,传统的FDC系统或者传统的分析方法,已经无法满足当下半导体制造业对于整体设备效率管控和提升的需求。

 

解决设备管理部门和工厂这一困境的利器是基于先进的技术架构的新一代FDC,相比较上一代FDC,因为其采用了最新的大数据技术,支持高吞吐量、低延时的实时计算,它在实时生产异常侦测、快速识别分析异常根因等方面表现优异,更能适应机台的实时监测需求。



 

用户在使用传统FDC时,经常会面临使用门槛高,需要大量的技术支持、持续维护大量的模型、无效的报警且无法管理、BI功能缺失的困境。更为关键的是,随着半导体工厂对于设备故障、非计划停机的容忍度和产品良率管控的达到几近严苛的状态,更实时的设备故障侦测、数据处理以及更及时预警的需求也在持续飙升。

 

传统FDC功能齐全、产品服役时间长,但是产品价格高昂、不支持定制化服务,系统迭代慢。由于传统FDC系统架构和技术古老,系统部署复杂、不支持HA,通过应用层实现了Failover;单体应用,不支持微服务架构;不支持大数据实时计算架构和时序数据库,采用关系型数据分库分表的方式实现高性能计算。因此系统较为封闭,不能快速、及时满足业务端日渐多元化的数据分析和实时预警诉求。

 

使用新一代FDC, 通过闭环控制降低异常影响,全面提升设备综合效率,以此支撑半导体工厂提高产品质量控制与管理的效率和水平,减少由于设备问题导致的进一步产品报废率和返工率。

 

在产品技术层面,新一代 FDC采用先进的技术架构,支持高吞吐量、低延时的实时计算;可采用高性能的分布式和高可用部署;支持微服务和容器化,资源可弹性扩展;产品的易用性也较传统FDC有大幅度提升,格创东智FDC提供了大量的配置和自定义能力,能够解放定制开发工作,无需编码即可灵活、快速实现新增的业务功能,且支持基于角色的个人仪表盘订阅。

 

作为半导体智能制造软件CIM的重要国内厂商之一,格创东智开发出升级后的FDC,它的核心优势有三点:

一是全新架构带来的性能提升,应用Flink的实时计算框架和关系型数据分库分表,实现高性能计算;

二是升级的实时侦测分析:全面完备的数据侦测算法、自动化和智能化的模型管理和灵活的参数分析和侦测模拟;

三是告警机制的优化,告警反馈的闭环机制能够有效的减少无效告警的产生。




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